Język / Language: Wersja Polska English Version

PEO 601-603-604-612 piece procesowe z rurą kwarcową

(kliknij aby powiększyć)

Opis:

Szybko nagrzewający się, energooszczędny, programowany piec komorowy z rurą kwarcową do wielu zastosowań: LPCVD, dyfuzja, mokre/suche utlenianie, epitaksja, płukanie HCL, wyżarzanie w atmosferze azotu, argonu, wodoru, próżni, wypalanie past grubowarstwowych, ceramiki LTCC, procesy niskotemperaturowe: utwardzanie polimidów, stapianie SiAu/SiAl.SiMo, mokre termiczne utlenianie na aluminium do VECSEL, lutowanie kontaktów podwyższonych, lutowanie rozpływowe, itd.
 
- Załadowanie pieca w temperaturze pokojowej - nagrzewanie - przeprowadzanie procesu - aktywne chłodzenie.
- Szybkie nagrzewanie do max. 100°C/min (partia) lub 20°C /s (pojedyncza płytka krzemowa).
- Szybkie chłodzenie: od 1000°C do poniżej 100°C w czasie poniżej 60 minut.
- Maksymalna temperatura w piecu 1150° C.
- Możliwa praca w różnych atmosferach gazowych (również w czystym wodorze), tlen poniżej 1ppm, próżnia do 5 x 10-6 mbar/Torr.
- Dla płytek krzemowych do 300 mm i podłoży o równoważnym wymiarze.